德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電納米定位位移臺(tái) P-541

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

掩模/晶圓定位

干涉測(cè)量

測(cè)量技術(shù)

生物技術(shù)

顯微操縱

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-541.2CD

主動(dòng)軸：X,Y

分辨率，開(kāi)環(huán)/閉環(huán)：0.2/0.3納米

螺距：<5微弧度

偏轉(zhuǎn)角：<10微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：0.47牛/微米

諧振頻率，空載：255赫茲

帶100 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：200赫茲

帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：180赫茲

帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：150赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100/30牛

負(fù)載容量：20牛

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-541.2CL

主動(dòng)軸：X,Y

分辨率，開(kāi)環(huán)/閉環(huán)：0.2/0.3納米

螺距：<5微弧度

偏轉(zhuǎn)角：<10微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：0.47牛/微米

諧振頻率，空載：255赫茲

帶100 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：200赫茲

帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：180赫茲

帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：150赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100/30牛

負(fù)載容量：20牛

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-541.2SL

主動(dòng)軸：X,Y

分辨率，開(kāi)環(huán)/閉環(huán)：0.2/2.5納米

螺距：<5微弧度

偏轉(zhuǎn)角：<10微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：0.47牛/微米

諧振頻率，空載：255赫茲

帶100 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：200赫茲

帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：180赫茲

帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：150赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100/30牛

負(fù)載容量：20牛

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-541.2DD

主動(dòng)軸：X,Y

分辨率，開(kāi)環(huán)/閉環(huán)：0.1/0.3納米

螺距：<3微弧度

偏轉(zhuǎn)角：<3微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：10牛/微米

諧振頻率，空載：1550赫茲

帶100 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：–赫茲

帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：1230赫茲

帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：–赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100/30牛

負(fù)載容量：20牛

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-541.20L

主動(dòng)軸：X,Y

分辨率，開(kāi)環(huán)/閉環(huán)：開(kāi)環(huán)為0.2/0.4納米

螺距：<5微弧度

偏轉(zhuǎn)角：<10微弧度

運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：0.47/0.4牛/微米

諧振頻率，空載：255/230赫茲

帶100 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：200/190赫茲

帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：180/–赫茲

帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：150/145赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100/30牛

負(fù)載容量：20牛

德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電納米定位位移臺(tái) P-541